光伏与储能作为绿色能源开展的主要领域，其产业升级离不开半导体设备零部件的技术保障。光伏电池的制造过程与半导体芯片制造存在诸多共通之处，刻蚀、沉积、清洗等关键工艺均需依赖半导体设备及其主要零部件。例如，光伏电池的精细刻蚀工艺需要刻蚀设备中的聚焦环、腔体内衬等精密陶瓷部件，保障刻蚀精度与均匀性，提升光伏电池的光电转换效率;薄膜光伏电池的制备则依赖沉积设备中的加热器、静电吸盘等零部件，保障薄膜沉积的稳定性与一致性。在储能领域，储能电池的管理系统、能量转换模块均需半导体芯片实现高效调控，这些芯片的制造需要真空系统、电源系统等半导体设备子系统的支撑。此外，光伏与储能设备的长期户外运行特性，对主要芯片的可靠性要求极高，而半导体设备零部件的高稳定性的保障，能够提升芯片的环境适应性，延长光伏与储能设备的使用寿命。半导体设备零部件的技术进步，有助于光伏与储能产业向高效、可靠、低成本方向开展，助力双碳目标实现。